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Semi-conducteurs

Température rapide/stable/constante

Contrôle précis de la température de nombreux processus de production de semi-conducteurs. Appliquez des couches extrêmement fines, masquez partiellement et éliminez les parties non couvertes avec une précision absolue en un nombre presque illimité d'étapes individuelles. Les bains de gravure doivent être maintenus dans une plage de température optimale pour maintenir des vitesses de gravure constantes et prévisibles dans les procédés chimiques humides. Cela nécessite l'utilisation de solutions de contrôle de température absolument précises et fiables.

Contrôle de la température des bains de gravure pour la fabrication chimique par voie humide de plaquettes et de micropuces. D'autres applications sont les tests fonctionnels et matériels de composants électriques et électroniques et de groupes fonctionnels utilisant des fluides thermiques non conducteurs tels que Galden ou FC77. Un système de contrôle de la température parfaitement équilibré améliore non seulement les résultats de production, mais augmente également la fiabilité du processus et réduit le temps de production, les coûts et la maintenance.

TES-NM65NT |

Avec chambre d'essai |

Plage de contrôle de température : -60℃~200℃

Puissance de chauffage : 5.5 kW

Puissance de refroidissement : 1.2 kW à 5.5 kW

Puissance MAX : 12kW

Types : Refroidisseurs à eau / Refroidisseurs à air

SUNDI-15W |

Pour les tests de puces |

Plage de contrôle de température : -100℃~200℃

Puissance de chauffage : 5.5 kW

Puissance de refroidissement : 1.2 kW à 5.5 kW

Puissance MAX : 12kW

Types : Refroidisseurs refroidis par air

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