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ETCU Series Heat Exchange Chiller without compressor

ETCU Series Heat Exchange Chiller without compressor

CANDIDATURES

Multi-channel independent temperature control can have independent temperature range, cooling and heating capacity, heat transfer medium flow, etc., using two independent systems, choose steam compression refrigeration according to the required temperature range, or use ETCU compressor-free heat exchange system, the system can use expansion tank, condenser, cooling water system, etc., which can effectively reduce the size of equipment and reduce the operation steps.

Caractéristiques du produit

 

Modèle ETCU-005W ETCU-015W ETCU-030W ETCU-050W ETCU-100W ETCU-200W ETCU-300W
Plage de température Cooling water temperature +5℃~90℃
Précision du contrôle de la température ±0.05℃(Température de sortie à l'état stable)
Température de l'eau de refroidissement 7℃~30℃ Cooling water flow is controlled by Siemens/Honeywell regulating valves
Capacité de refroidissement 5kW 15kW 30kW 50kW 100kW 200kW 300kW
Test conditions: When the maximum circulation amount, the temperature difference between
the temperature control temperature and the cooling water temperature is 15℃
Pompe de circulation 7~20L/min 5bar 15~40L/min 5bar 20~60L/min 5bar 40~110L/min 5bar 150~250L/min 5bar 250~500L/min 5bar 400~650L/min 5bar
Volume du réservoir 5L 10L 20L 30L 60L 120L 240L
Dimension en cm 480*750*390 480*750*390 480*750*500 Customization Customization Customization Customization

CANDIDATURES

Unité de contrôle de la température du processus FAB de semi-conducteurs

La fabrication de semi-conducteurs est un processus soumis à des exigences environnementales extrêmement élevées, et de nombreuses étapes du processus sont très sensibles à la température.
Un contrôle précis de la température peut garantir une épaisseur uniforme et une composition exacte des films déposés, améliorant ainsi les performances et le rendement des puces.

pour les processus d'emballage et d'essai des semi-conducteurs

Le processus d'emballage et d'essai des semi-conducteurs est un maillon essentiel du processus de production des semi-conducteurs, qui comprend l'essai des plaquettes, l'emballage des puces et l'essai après emballage. Ce processus exige non seulement un degré élevé de précision et de fiabilité, mais aussi un contrôle strict de la température pour garantir la qualité et les performances du produit.

Il s'agit par exemple de refroidisseurs qui contrôlent la température de traitement des équipements Fab.

Refroidissement des capteurs CMOS/CCD dans les systèmes de métrologie des semi-conducteurs.

Refroidisseur à recirculation pour système AOI de dosage de semi-conducteurs.

Refroidisseur à air à canal unique, principalement conçu pour les machines de gravure. Il est utilisé pour assurer un contrôle indépendant de la température des parois latérales de la chambre.

Utilisé pour Gravure et dépôt en biseau par plasma ; Gravure par couche atomique thermique du métal tungstène.

La pompe à fréquence variable permet d'ajuster la pression et le débit du circuit hydraulique.

Fonction de communication

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