LNEYA Industrial Chillers Fabricant Fournisseur -
Série de refroidisseurs à fréquence variable FLTZ pour l'industrie des semi-conducteurs
CANDIDATURES
Le refroidisseur de l'unité de contrôle de la température des semi-conducteurs est principalement utilisé pour le contrôle précis de la température dans le processus de production et d'essai des semi-conducteurs. L'entreprise applique plusieurs algorithmes (PID, PID en amont, algorithme d'auto-construction sans modèle) dans le système afin d'obtenir une réponse rapide du système et une grande précision de contrôle.
Paramètres du produit
FLTZ 5℃～90℃
| Modèle | 002 002W |
003 003W |
004 004W |
006 006W |
008 008W |
010 010W |
015 015W |
| Plage de température | 5℃～90℃ | ||||||
| Capacité de refroidissement @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| Volume de liquide de circulation interne | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volume du réservoir d'expansion | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Réfrigérant | R410A | ||||||
| Milieu réfrigérant | Huile de silicone, liquide fluoré, solution aqueuse de polyol, DI, etc. (la température du DI doit être contrôlée à plus de 10 ℃) | ||||||
| Taille de la connexion | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Taille du raccordement de l'eau de refroidissement | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Débit d'eau de refroidissement @20℃ | 1,5m³/h | 2m³/h | 2,5m³/h | 4m³/h | 4,5m³/h | 5,6m³/h | 9m³/h |
| Dimension en cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
FLTZ -25℃～90℃
| Modèle | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| Plage de température | -25℃～90℃ | ||||||
| Précision du contrôle de la température | ±0.05℃（Température de sortie à l'état stable） | ||||||
| Contrôle du débit | 10～25L/min | 15～45L/min | 25～75L/min | ||||
| Capacité de refroidissement @-15℃ | 2kW | 3kW | 3,8 kW | 6kW | 7,6 kW | 10kW | 15kW |
| Volume de liquide de circulation interne | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volume du réservoir d'expansion | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Réfrigérant | R404A | ||||||
| Milieu réfrigérant | Huile de silicone, liquide fluoré, solution de glycol, etc. | ||||||
| Taille de la connexion | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Taille du raccordement de l'eau de refroidissement | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Débit d'eau de refroidissement @20℃ | 1,2 m³/H | 1,6m³/H | 2,6m³/H | 3,6m³/H | 5,5m³/H | 7m³/H | 10,2 m³/H |
| Dimension en cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| Contrôle de la température du processus | La température cible à distance peut être contrôlée en combinant le modèle créé par l'utilisateur et le modèle libre de l'utilisateur. l'algorithme de l'arbre construit et l'algorithme de la cascade |
||||||
FLTZ -45℃～90℃
| Modèle | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| Plage de température | -45℃～90℃ | ||||||
| Précision du contrôle de la température | ±0.05℃（Température de sortie à l'état stable） | ||||||
| Contrôle du débit | 10～25L/min 5bar max | 15～45L/min 5bar max | 25～75L/min 5bar max | ||||
| Chauffage | L'utilisation du chauffage du compresseur permet d'éviter le givrage du condenseur. | ||||||
| Capacité de refroidissement @-35℃ | 1kW | 1,4 kW | 1,8 kW | 2,5 kW | 3,3 kW | 5kW | 8kW |
| Volume de liquide de circulation interne | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volume du réservoir d'expansion | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Réfrigérant | R404A | ||||||
| Milieu réfrigérant | Huile de silicone, liquide fluoré, solution de glycol, etc. | ||||||
| Taille de la connexion | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Taille du raccordement de l'eau de refroidissement | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Débit d'eau de refroidissement @20℃ | 1,5m³/H | 2,4m³/H | 3,5m³/H | 5m³/H | 5,5m³/H | 6m³/H | 8m³/H |
| Dimension en cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*500*1500 | 1080*500*1500 |
| Contrôle de la température du processus | La température cible à distance peut être contrôlée en combinant le modèle créé par l'utilisateur et le modèle libre de l'utilisateur. l'algorithme de l'arbre construit et l'algorithme de la cascade |
||||||
FLTZ -80℃～+90℃
| Modèle | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| Plage de température | -80℃～+90℃ | ||||
| Précision du contrôle de la température | ±0.05℃（Température de sortie à l'état stable） | ||||
| Contrôle du débit | 7～25L/min 5bar max | 12～45L/min 6bar max | |||
| Capacité de refroidissement à 70℃ | 0,6 kW | 1kW | 1,5 kW | 2kW | 3kW |
| Capacité de chauffage | 2kW | 2kW | 2kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Volume de liquide de circulation interne | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| Volume du réservoir d'expansion | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| Moyen de transmission de la chaleur | Liquide fluoré | ||||
| Taille de la connexion | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Taille du raccordement de l'eau de refroidissement | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Eau de refroidissement@20℃ | 1,8m3/h | 2,5m3/h | 3m3/h | 5m3/h | 6m3/h |
| Disjoncteur | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| Dimension en cm | 550*700*1750 | 650*850*1850 | 700*850*1850 | 700*850*1850 | 800*1200*1850 |
| Contrôle de la température du processus | La température cible à distance peut être contrôlée en combinant le modèle créé par l'utilisateur et le modèle libre de l'utilisateur. l'algorithme de l'arbre construit et l'algorithme de la cascade |
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FLTZ -100℃～+90℃
| Modèle | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| Plage de température | -100℃～+90℃ | |
| Précision du contrôle de la température | ±0.05℃（Température de sortie à l'état stable） | |
| Contrôle du débit | 7～25L/min | 12～45L/min |
| Capacité de refroidissement à 90℃ | 1,5 kW | 3kW |
| Capacité de chauffage | 3,5 kW | 5,5 kW |
| Volume de liquide de circulation interne | 5L | 8L |
| Volume du réservoir d'expansion | 10L | 15L |
| Moyen de transmission de la chaleur | Liquide fluoré | |
| Taille de la connexion | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Taille du raccordement de l'eau de refroidissement | ZG3/4 | ZG1 |
| Eau de refroidissement@20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
| Disjoncteur | 32A | 63A |
| Contrôle de la température du processus | La température cible à distance peut être contrôlée en combinant le modèle créé par l'utilisateur et le modèle libre de l'utilisateur. l'algorithme de l'arbre construit et l'algorithme de la cascade |
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Avantages du produit
- La stabilité et la répétabilité de la production sont efficaces ;
- Utilisation d'échangeurs de chaleur à plaques et de réchauffeurs de canalisations pour améliorer les taux de refroidissement et de chauffage ;
- Très large gamme de températures, pas besoin de remplacer le milieu liquide ;
- Système entièrement fermé, prolongeant la durée de vie des liquides thermoconducteurs ;
- L'adoption d'une pompe à entraînement magnétique permet d'éviter tout problème de fuite au niveau du joint d'arbre ;
- Technologie de refroidissement à haute température, démarrage direct du compresseur pour refroidir à 300 ℃.
La pompe à fréquence variable permet d'ajuster la pression et le débit du circuit hydraulique.
signal de sortie du client
Fonction de communication
CANDIDATURES
Unité de contrôle de la température du processus FAB de semi-conducteurs
La fabrication de semi-conducteurs est un processus soumis à des exigences environnementales extrêmement élevées, et de nombreuses étapes du processus sont très sensibles à la température.
Un contrôle précis de la température peut garantir une épaisseur uniforme et une composition exacte des films déposés, améliorant ainsi les performances et le rendement des puces.
pour les processus d'emballage et d'essai des semi-conducteurs
Le processus d'emballage et d'essai des semi-conducteurs est un maillon essentiel du processus de production des semi-conducteurs, qui comprend l'essai des plaquettes, l'emballage des puces et l'essai après emballage. Ce processus exige non seulement un degré élevé de précision et de fiabilité, mais aussi un contrôle strict de la température pour garantir la qualité et les performances du produit.
Il s'agit par exemple de refroidisseurs qui contrôlent la température de traitement des équipements Fab.
Refroidissement des capteurs CMOS/CCD dans les systèmes de métrologie des semi-conducteurs.
Refroidisseur à recirculation pour système AOI de dosage de semi-conducteurs.
Refroidisseur à air à canal unique, principalement conçu pour les machines de gravure. Il est utilisé pour assurer un contrôle indépendant de la température des parois latérales de la chambre.
Utilisé pour Gravure et dépôt en biseau par plasma ; Gravure par couche atomique thermique du métal tungstène.
LNEYA fournit des services personnalisés pour les refroidisseurs
tailles de refroidisseurs sur mesure
Qu'il s'agisse de refroidisseurs portables, compacts, grands ou petits, nous pouvons les concevoir sur mesure en fonction de vos besoins. Quel que soit le nombre de tonnes de refroidisseurs dont vous avez besoin, nous pouvons créer la meilleure solution.
types de refroidisseurs personnalisés
Nous fournissons des refroidisseurs de différents types de réfrigération, y compris, mais sans s'y limiter, des refroidisseurs à air, des refroidisseurs à eau et des refroidisseurs à condensation par évaporation. Quel que soit le type de compresseur frigorifique, nous pouvons le concevoir en fonction de vos besoins.
plages de température personnalisées
Nous pouvons créer une solution personnalisée pour des températures allant de -150℃ à +350℃. Plages de températures personnalisées pour des industries spécifiques.
tension du refroidisseur sur mesure
Personnalisez la tension et la phase du refroidisseur en fonction de vos besoins. En option, 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
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