LNEYA Industrial Chillers Fabricant Fournisseur -
FLTZ Variable Frequency Series Multi-channel Chillers
CANDIDATURES
Semiconductor air cooling & water cooling Chiller is mainly used for precise temperature control in semiconductor production and testing. Products include fluid fluorinated liquid temperature control (minimum -100 degrees), gas hot and cold rapid temperature change, rapid temperature change chuck, low temperature gas refrigerator (-120 degrees), direct cooling refrigeration unit (-150 degrees), etc. The company applies a variety of algorithms (PID, feedforward PID, model-free self-building algorithm) in the system to achieve fast system response and high control accuracy.
Caractéristiques du produit
Paramètres du produit
FLTZ -20℃～+90℃
| Modèle | FLTZ-203W-2T | |
| Pipeline | channel 1 | channel 2 |
| Plage de température | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| Capacité de refroidissement | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| Capacité de chauffage | 2kW | 2kW |
| Heat conducting medium flow rate | 20L/min@0.5MPa | 20L/min@0.5MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Température de l'eau de refroidissement | 20L/min | 20L/min |
| Disjoncteur | 30A | |
| Poids | 400 kg | |
| Dimension en cm | 500*900*1600 | |
FLTZ -45℃～+40℃
| Modèle | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| Pipeline | channel 1 | channel 2 |
| Plage de température | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| Capacité de refroidissement | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ |
13kW@+10℃ |
| Capacité de chauffage | 2kW | 6kW |
| Heat conducting medium flow rate | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Température de l'eau de refroidissement | 40L/min | 20L/min |
| Disjoncteur | 80A | |
| Poids | 550kg | |
| Dimension en cm | 600*1000*1850 | |
FLTZ -10℃～+80℃
| Modèle | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| Pipeline | channel 1 | channel 2 | channel 3 |
| Plage de température | -10℃～+60℃ | +30℃～+80℃ | -10℃～+80℃ |
| Capacité de refroidissement | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| Capacité de chauffage | 4kW | 4.5+6kW | 3kW |
| Heat conducting medium flow rate | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Température de l'eau de refroidissement | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Disjoncteur | 100A | ||
| Poids | 600kg | ||
| Dimension en cm | 600*1000*1700 | ||
FLTZ -20℃～+50℃
| Modèle | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| Pipeline | channel 1 | channel 2 | channel 3 |
| Plage de température | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| Capacité de refroidissement | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| Capacité de chauffage | 2kW | 6kW | Pump Heat Loss |
| Heat conducting medium flow rate | 30L/min@0.85MPa | 30L/min@0.85MPa | 20L/min@0.8MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Température de l'eau de refroidissement | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Disjoncteur | 75A | ||
| Poids | 600kg | ||
| Dimension en cm | 600*1000*1700 | ||
FLTZ -45℃~90℃
| Modèle | FLTZ-203W/2T dual system | FLTZ-305W/2T dual system | FLTZ-406W/2T dual system | |||
| Plage de température | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| Heat conducting medium flow rate | 15~45l/min 6bar max | |||||
| Capacité de chauffage | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Capacité de refroidissement | 3kW at-15℃ | 3kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 2.5kW at -35℃ | 2.5kW at -35℃ |
| Volume du liquide de circulation interne | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| Volume du réservoir d'expansion | 15L | 25L | 25L | |||
| Heat-conducting medium | Fluorinated liquid, antifreeze, thermal conductive silicone oil, etc | |||||
| Réfrigérant | R404A/ R448 | |||||
| Heat-conducting medium interface | ZG3/4 | |||||
| Interface avec l'eau de refroidissement | ZG3/4 | |||||
| Interface avec l'eau de refroidissement | 50L/min at20℃ | 600L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| Puissance | Three phase 220V/Three phase 400V/Three phase 460V | |||||
Avantages du produit
- La stabilité et la répétabilité de la production sont efficaces ;
- Utilisation d'échangeurs de chaleur à plaques et de réchauffeurs de canalisations pour améliorer les taux de refroidissement et de chauffage ;
- Très large gamme de températures, pas besoin de remplacer le milieu liquide ;
- Système entièrement fermé, prolongeant la durée de vie des liquides thermoconducteurs ;
- L'adoption d'une pompe à entraînement magnétique permet d'éviter tout problème de fuite au niveau du joint d'arbre ;
- Technologie de refroidissement à haute température, démarrage direct du compresseur pour refroidir à 300 ℃.
La pompe à fréquence variable permet d'ajuster la pression et le débit du circuit hydraulique.
signal de sortie du client
Fonction de communication
CANDIDATURES
Unité de contrôle de la température du processus FAB de semi-conducteurs
La fabrication de semi-conducteurs est un processus soumis à des exigences environnementales extrêmement élevées, et de nombreuses étapes du processus sont très sensibles à la température.
Un contrôle précis de la température peut garantir une épaisseur uniforme et une composition exacte des films déposés, améliorant ainsi les performances et le rendement des puces.
pour les processus d'emballage et d'essai des semi-conducteurs
Le processus d'emballage et d'essai des semi-conducteurs est un maillon essentiel du processus de production des semi-conducteurs, qui comprend l'essai des plaquettes, l'emballage des puces et l'essai après emballage. Ce processus exige non seulement un degré élevé de précision et de fiabilité, mais aussi un contrôle strict de la température pour garantir la qualité et les performances du produit.
Il s'agit par exemple de refroidisseurs qui contrôlent la température de traitement des équipements Fab.
Refroidissement des capteurs CMOS/CCD dans les systèmes de métrologie des semi-conducteurs.
Refroidisseur à recirculation pour système AOI de dosage de semi-conducteurs.
Refroidisseur à air à canal unique, principalement conçu pour les machines de gravure. Il est utilisé pour assurer un contrôle indépendant de la température des parois latérales de la chambre.
Utilisé pour Gravure et dépôt en biseau par plasma ; Gravure par couche atomique thermique du métal tungstène.
LNEYA fournit des services personnalisés pour les refroidisseurs
tailles de refroidisseurs sur mesure
Qu'il s'agisse de refroidisseurs portables, compacts, grands ou petits, nous pouvons les concevoir sur mesure en fonction de vos besoins. Quel que soit le nombre de tonnes de refroidisseurs dont vous avez besoin, nous pouvons créer la meilleure solution.
types de refroidisseurs personnalisés
Nous fournissons des refroidisseurs de différents types de réfrigération, y compris, mais sans s'y limiter, des refroidisseurs à air, des refroidisseurs à eau et des refroidisseurs à condensation par évaporation. Quel que soit le type de compresseur frigorifique, nous pouvons le concevoir en fonction de vos besoins.
plages de température personnalisées
Nous pouvons créer une solution personnalisée pour des températures allant de -150℃ à +350℃. Plages de températures personnalisées pour des industries spécifiques.
tension du refroidisseur sur mesure
Personnalisez la tension et la phase du refroidisseur en fonction de vos besoins. En option, 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
Visite de l'usine LNEYA
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