LNEYA Industrial Chillers Fabricant Fournisseur
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refroidisseurs à semi-conducteurs
Compact, haute précision, respectueux de l'environnement
Plage de température -100℃~90℃ Précision de la température ±0,05℃
LNEYA® Semiconductor Chillers characteristics
LNEYA représente la technologie de contrôle de température liquide de pointe au niveau international, explore et étudie activement la simulation de test de température du système de test de composants, a une large direction de température et une montée et une descente de température élevées, plage de température : -100°C~+90°C, précision de contrôle de température jusqu'à : ±0,05℃.
Nos produits incluent le contrôle de la température du liquide fluoré (minimum -100 degrés) et la régulation continue multicanal de la température. Tous les équipements sont soumis à des tests d'ammoniac et de sécurité complets avant de quitter l'usine, afin de garantir la sécurité et la fiabilité du système.
high-precision Process chillers Video
Integrates refrigeration heating and temperature control functions. It is mainly used for temperature control in semiconductor FAB processes and packaging and testing processes.
Saving more than 20% energy compared to the old products; it adopts a fully enclosed pipeline design to reduce the demand for heat transfer medium, and at the same time, the heat discharged by the compressor is used for heating within 40℃, so the circulation heating can be achieved without a heater.
FLTZ 5℃~90℃
refroidisseurs de processus
Cooling capacity 6kW~40kW
Cooling water flow 1.5m³/h~9m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
FLTZ -25℃～90℃
refroidisseurs thermiques
Cooling capacity 2kW~15kW
Cooling water flow 1.2m³/h~10.2m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
FLTZ -45℃～90℃
refroidisseurs à basse température
Cooling capacity 1kW~8kW
Cooling water flow 1.5m³/h~8m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
FLTZ -80℃～+90℃
refroidisseur d'eau à recirculation
Cooling capacity 0.6kW~3kW
Cooling water flow 1.8m³/h~6m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
FLTZ -100℃～+90℃
refroidisseur à recirculation
Cooling capacity 1.5kW~3kW
Cooling water flow 50L/min~100L/min 2bar~7bar
Temp accuracy ±0.05℃
Semiconductor Chiller Applications
La fabrication de semi-conducteurs est un processus soumis à des exigences environnementales extrêmement strictes, et un contrôle strict de la température détermine les performances du produit. Les refroidisseurs de semi-conducteurs sont couramment utilisés dans les processus de conditionnement et de test de l'industrie des semi-conducteurs, le contrôle de la température des processus de fabrication de semi-conducteurs, le refroidissement des capteurs CMOS/CCD dans les systèmes de métrologie des semi-conducteurs, le refroidissement par circulation des systèmes AOI de métrologie des semi-conducteurs, le contrôle indépendant de la température des parois latérales des cavités, la gravure et le dépôt de chanfreins au plasma, la gravure thermique de couches atomiques de tungstène métallique, etc.
Pour les équipements de test de vieillissement
Le système de séchage thermique correspondant fournit une température de refroidissement et de chauffage, améliore l'efficacité des tests et la qualité des puces de plaquettes et présente une faible erreur de précision de température.
Pour les équipements de test de puces
Le refroidisseur thermique est associé à la machine de test, avec une précision de contrôle de la température de ± 0,05 ℃, ce qui améliore l'efficacité des tests de puces de l'institut.
Pour la fabrication de semi-conducteurs
Le refroidisseur de processus est utilisé dans les usines de semi-conducteurs, avec un contrôle de la température de refroidissement et de chauffage de haute précision, ce qui améliore le taux de fabrication des plaquettes et réduit le taux de rebut.
Pourquoi choisir LNEYA® ?
The semiconductor industry has very strict requirements on temperature control accuracy. Many process steps are extremely sensitive to temperature changes. The performance and quality of the products rely on high-precision semiconductor chillers. LNEYA provides professional thermal management solutions for the semiconductor industry.
Très large gamme de températures, pas besoin de remplacer le milieu liquide ;
La stabilité et la répétabilité de la production sont efficaces ;
Technologie de refroidissement à haute température, démarrage direct du compresseur pour refroidir à 300 ℃.
Système entièrement fermé, prolongeant la durée de vie des liquides thermoconducteurs ;
Utilisation d'échangeurs de chaleur à plaques et de réchauffeurs de canalisations pour améliorer les taux de refroidissement et de chauffage ;
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