Thermal Chillers for Semiconductor ATE & Process
Advanced liquid temperature control technology, actively exploring and researching component test systems, mainly used for temperature test simulation in pharmaceutical chemicals, new energy, semiconductors, and aerospace testing, with wide temperature direction and high temperature rise and fall, temperature range: -80°C~+90°C, temperature control accuracy up to: ±0.05℃, suitable for various test requirements.
Applications
Temperature control system for production process and testing links.
Applied in semiconductors, LEDs, LCDs, solar photovoltaics and other fields;
The variable frequency pump can adjust the circulating fluid pressure and flow, Circulation heating can be achieved without a heater;
Multi-channel independent temperature control, no mutual influence.
Il s'agit par exemple de refroidisseurs qui contrôlent la température de traitement des équipements Fab.
Refroidissement des capteurs CMOS/CCD dans les systèmes de métrologie des semi-conducteurs.
Refroidisseur à recirculation pour système AOI de dosage de semi-conducteurs.
Refroidisseur à air à canal unique, principalement conçu pour les machines de gravure. Il est utilisé pour assurer un contrôle indépendant de la température des parois latérales de la chambre.
Utilisé pour Gravure et dépôt en biseau par plasma ; Gravure par couche atomique thermique du métal tungstène.
Série de conversion de fréquence FLTZ
Temperature control range: -45℃~+90℃
The chiller’s exhaust and suction temperature (pressure), condensing temperature, cooling water temperature (pressure), inlet and outlet liquid (gas) temperature (pressure), power consumption, current of each component, voltage, water tank level and other important information are all connected to the control system through sensors for comprehensive management, monitoring and recording.
Modèle |
5℃~90℃ |
-25℃~90℃ |
-45℃~90℃ |
-80℃~+90℃ |
-100℃~+90℃ |
Précision du contrôle de la température |
±0.05℃ |
±0.05℃ |
±0.05℃ |
±0.05℃ |
±0.05℃ |
Capacité de refroidissement |
6KW~40KW @10℃ |
2KW~15KW @-15℃ |
1KW~8KW @-35℃ |
0.6KW~3KW @-70℃ |
1.5KW~3KW @-90℃ |
Rated test conditions for all equipment: Dry bulb temperature: 20℃; Wet bulb temperature: 16℃. Inlet water temperature: 20℃; Outlet water temperature: 25℃.
FLTZ Frequency Conversion Multi-channel Series
Temperature control range: -45℃~+100℃
Multi channel independent temperature control, which can have a separate temperature range, cooling and heating capacity, thermal conductivity medium flow rate, etc., adopts two independent systems.
The system can be used for universal expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and operation steps.
Modèle |
FLTZ-203W/2T dual system |
FLTZ-305W/2T dual system |
FLTZ-406W/2T dual system |
Plage de température |
-20℃~90℃ |
-30℃~90℃ |
-45℃~90℃ |
Précision du contrôle de la température |
±0.1℃ |
Heat conducting medium flow rate |
15~45l/min 6bar max |
Capacité de chauffage |
2,5 kW |
2,5 kW |
2,5 kW |
2,5 kW |
3,5 kW |
3,5 kW |
Capacité de refroidissement |
3kW @-15℃ |
3kW @-15℃ |
5kW @-15℃ |
5kW @-15℃ |
2.5kW @-35℃ |
2.5kW @-35℃ |
Rated test conditions for all equipment: dry bulb temperature: 20℃; wet bulb temperature: 16℃. Inlet water temperature: 20℃; outlet water temperature: 25℃.
ETCU Heat Exchange Chiller Series
Adopting compressor-free refrigeration system
temperature control range is: 5℃~+90℃
temperature control accuracy: ±0.05℃
Modèle |
ETCU-005W |
ETCU-015W |
ETCU-030W |
ETCU-050W |
ETCU-100W |
ETCU-200W |
ETCU-300W |
Plage de température |
Cooling water temperature +5℃~90℃ |
Précision du contrôle de la température |
±0.05℃(Température de sortie à l'état stable) |
Température de l'eau de refroidissement |
7℃~30℃ Cooling water flow is controlled by Siemens/Honeywell regulating valves |
Capacité de refroidissement |
5kW |
15kW |
30kW |
50kW |
100kW |
200kW |
300kW |
Rated test conditions for all equipment: dry bulb temperature: 20℃; wet bulb temperature: 16℃. Inlet water temperature: 20℃; outlet water temperature: 25℃.
AES Series Thermal Stream
Solutions thermiques pour les essais ATE
temperature control range is: -115℃~225℃
temperature control accuracy: ±0.1℃
Modèle |
AES-4535 AES-4535W |
AES-6035 AES-6035W |
AES-8035 AES-8035W |
AES-A1035W |
AES-A1235W |
Plage de température |
-40℃~225℃ |
-60℃~225℃ |
-80℃~225℃ |
-100℃~225℃ |
-120℃~225℃ |
Précision de la température |
±0.1℃(Steady state outlet temperature) |
Air requirements |
Air filter < 5um air oil content < 0.1um air temp and humidity:5℃-32℃ 0-50%RH |
Air treatment capacity |
10m³/h-m³/h pressure 5bar-7.6bar |
Contact LNEYA technical engineer for model selection
les refroidisseurs qui contrôlent la température de traitement sur les équipements Fab
advantages
- La stabilité et la répétabilité de la production sont efficaces ;
- Utilisation d'échangeurs de chaleur à plaques et de réchauffeurs de canalisations pour améliorer les taux de refroidissement et de chauffage ;
- Très large gamme de températures, pas besoin de remplacer le milieu liquide ;
- Système entièrement fermé, prolongeant la durée de vie des liquides thermoconducteurs ;
- L'adoption d'une pompe à entraînement magnétique permet d'éviter tout problème de fuite au niveau du joint d'arbre ;
- Technologie de refroidissement à haute température, démarrage direct du compresseur pour refroidir à 300 ℃.
La pompe à fréquence variable permet d'ajuster la pression et le débit du circuit hydraulique.
Heating function
Due to the use of heat generated during heating, circulating heating can be achieved without the need for a heater.
Fonction de communication
Standard equipment includes serial communication (RS232C, RS485) and contact input/output. Can communicate with customer devices or build systems.
client output signal
Customized Chiller Solutions
Produits recommandés
Contrôle de la température :-120℃~350℃
Temperature control for high pressure reactor;Double-layer glass reactor;Double-layer reactor;Microchannel Reactor;Distillation system;Material aging test;Vacuum chamber etc.
Contrôle de la température : -40℃~100℃
Simulation de la température pour les tests de qualité des véhicules : test de durée de vie de la batterie, banc d'essai de l'injecteur de carburant/du moteur, test des coussins gonflables, banc d'essai des composants, etc. Il peut simuler les conditions environnementales externes dans la chambre climatique ou remplacer le système interne, ce qui permet de créer les conditions de température réelles nécessaires pour le banc d'essai.
Contrôle de la température : -85℃~250℃
Suitable for semiconductor process wet washing, photolithography, etching, chemical meteorological deposition, physical meteorological deposition, and the electronics industry (photolithography process)
Accept Customized Outdoor Chiller and Indoor Chiller
rovide 7 * 24 free consultation & comprehensive solutions