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Thermal Chillers for Semiconductor ATE & Process

Advanced liquid temperature control technology, actively exploring and researching component test systems, mainly used for temperature test simulation in pharmaceutical chemicals, new energy, semiconductors, and aerospace testing, with wide temperature direction and high temperature rise and fall, temperature range: -80°C~+90°C, temperature control accuracy up to: ±0.05℃, suitable for various test requirements.

Il s'agit par exemple de refroidisseurs qui contrôlent la température de traitement des équipements Fab.

Refroidissement des capteurs CMOS/CCD dans les systèmes de métrologie des semi-conducteurs.

Refroidisseur à recirculation pour système AOI de dosage de semi-conducteurs.

Refroidisseur à air à canal unique, principalement conçu pour les machines de gravure. Il est utilisé pour assurer un contrôle indépendant de la température des parois latérales de la chambre.

Utilisé pour Gravure et dépôt en biseau par plasma ; Gravure par couche atomique thermique du métal tungstène.

Série de conversion de fréquence FLTZ

Modèle 5℃~90℃  -25℃~90℃  -45℃~90℃  -80℃~+90℃  -100℃~+90℃
Précision du contrôle de la température ±0.05℃ ±0.05℃ ±0.05℃ ±0.05℃ ±0.05℃
Capacité de refroidissement 6KW~40KW @10℃ 2KW~15KW @-15℃ 1KW~8KW @-35℃ 0.6KW~3KW @-70℃ 1.5KW~3KW @-90℃

FLTZ Frequency Conversion Multi-channel Series

Modèle -20℃~+90℃  -45℃~+80℃ -10℃~+80℃  -25℃~+100℃
Pipeline channel 2 channel 2 channel 3 channel 3
Précision du contrôle de la température ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃
Capacité de refroidissement 4kW@-10℃ 11kW@-20℃
5kW@-40℃
4kW@-10℃/21kW@+20℃ 13kW@PCW+15℃
Capacité de chauffage 2kW 2kW 4.5+6kW 6kW

Modèle FLTZ-203W/2T dual system FLTZ-305W/2T  dual system FLTZ-406W/2T dual system
Plage de température -20℃~90℃  -30℃~90℃ -45℃~90℃
Précision du contrôle de la température ±0.1℃
Heat conducting medium flow rate 15~45l/min 6bar max
Capacité de chauffage 2,5 kW 2,5 kW 2,5 kW 2,5 kW 3,5 kW 3,5 kW
Capacité de refroidissement 3kW @-15℃ 3kW @-15℃ 5kW @-15℃ 5kW @-15℃ 2.5kW @-35℃ 2.5kW @-35℃

ETCU Heat Exchange Chiller Series

Modèle ETCU-005W ETCU-015W ETCU-030W ETCU-050W ETCU-100W ETCU-200W ETCU-300W
Plage de température Cooling water temperature +5℃~90℃
Précision du contrôle de la température ±0.05℃(Température de sortie à l'état stable)
Température de l'eau de refroidissement 7℃~30℃ Cooling water flow is controlled by Siemens/Honeywell regulating valves
Capacité de refroidissement 5kW 15kW 30kW 50kW 100kW 200kW 300kW

AES Series Thermal Stream

Modèle AES-4535
AES-4535W
AES-6035
AES-6035W
AES-8035
AES-8035W
AES-A1035W AES-A1235W
Plage de température -40℃~225℃ -60℃~225℃ -80℃~225℃ -100℃~225℃ -120℃~225℃
Précision de la température ±0.1℃(Steady state outlet temperature)
Air requirements Air filter < 5um air oil content < 0.1um air temp and humidity:5℃-32℃ 0-50%RH
Air treatment capacity 10m³/h-m³/h  pressure 5bar-7.6bar

Contact LNEYA technical engineer for model selection

  • La stabilité et la répétabilité de la production sont efficaces ;
  • Utilisation d'échangeurs de chaleur à plaques et de réchauffeurs de canalisations pour améliorer les taux de refroidissement et de chauffage ;
  • Très large gamme de températures, pas besoin de remplacer le milieu liquide ;
  • Système entièrement fermé, prolongeant la durée de vie des liquides thermoconducteurs ;
  • L'adoption d'une pompe à entraînement magnétique permet d'éviter tout problème de fuite au niveau du joint d'arbre ;
  • Technologie de refroidissement à haute température, démarrage direct du compresseur pour refroidir à 300 ℃.

Soumettez-nous votre demande et nous vous contacterons dans les 24 heures.
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Multi-channel

Channel 1Channel 2Channel 3

Temperature control range

-30℃~25℃-80℃~90℃5℃~90℃-60℃~-30℃*
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Contrôle de la température :-120℃~350℃

Contrôle de la température : -40℃~100℃

Contrôle de la température : -85℃~250℃

Outdoor Chiller

Indoor Chiller