FLT -100℃~90℃
semiconductor production process water chiller
- Précision de la température±0.1℃
- Contrôle du débit12~45/min
- TypeFrequency Variable Series
- Gamme de puissance380V


FLTZ -100℃~+90℃ Low Temperature Cascade Refrigeration Series
Modèle | FLTZ-002 | FLTZ-003 | FLTZ-004 | FLTZ-006 | FLTZ-008 | FLTZ-010 | FLTZ-015 |
FLTZ-002W | FLTZ-003W | FLTZ-004W | FLTZ-006W | FLTZ-008W | FLTZ-010W | FLTZ-015W | |
Plage de température | 5℃~90℃ | ||||||
Précision du contrôle de la température | ±0.05℃(Température de sortie à l'état stable) | ||||||
Capacité de refroidissement @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
Volume de liquide de circulation interne | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
Volume du réservoir d'expansion | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
Réfrigérant | R410A | ||||||
Milieu réfrigérant | Huile de silicone, liquide fluoré, solution aqueuse de polyol, DI, etc. (la température du DI doit être contrôlée à plus de 10 ℃) | ||||||
Taille de la connexion | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
Taille du raccordement de l'eau de refroidissement | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
Débit d'eau de refroidissement @20℃ | 1,5m³/h | 2m³/h | 2,5m³/h | 4m³/h | 4,5m³/h | 5,6m³/h | 9m³/h |
Contrôle de la température du processus | La température cible à distance peut être contrôlée en combinant le modèle créé par l'utilisateur et le modèle libre de l'utilisateur. l'algorithme de l'arbre construit et l'algorithme de la cascade |
||||||
Dimension en cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
Modèle | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
Plage de température | -100℃~+90℃ | |
Précision du contrôle de la température | ±0.05℃(Température de sortie à l'état stable) | |
Contrôle du débit | 7~25L/min | 12~45L/min |
Capacité de refroidissement à 90℃ | 1,5 kW | 3kW |
Capacité de chauffage | 3,5 kW | 5,5 kW |
Volume de liquide de circulation interne | 5L | 8L |
Volume du réservoir d'expansion | 10L | 15L |
Moyen de transmission de la chaleur | Liquide fluoré | |
Taille de la connexion | ZG3/4 | ZG3/4 |
Taille du raccordement de l'eau de refroidissement | ZG3/4 | ZG1 |
Eau de refroidissement@20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
Disjoncteur | 32A | 63A |
Contrôle de la température du processus | La température cible à distance peut être contrôlée en combinant le modèle créé par l'utilisateur et le modèle libre de l'utilisateur. l'algorithme de l'arbre construit et l'algorithme de la cascade |
FLTZ -45℃~90℃
Modèle | FLTZ-002 | FLTZ-003 | FLTZ-004 | FLTZ-006 | FLTZ-008 | FLTZ-010 | FLTZ-015 |
FLTZ-002W | FLTZ-003W | FLTZ-004W | FLTZ-006W | FLTZ-008W | FLTZ-010W | FLTZ-015W | |
Plage de température | 5℃~90℃ | ||||||
Précision du contrôle de la température | ±0.05℃(Température de sortie à l'état stable) | ||||||
Capacité de refroidissement @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
Volume de liquide de circulation interne | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
Volume du réservoir d'expansion | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
Réfrigérant | R410A | ||||||
Milieu réfrigérant | Huile de silicone, liquide fluoré, solution aqueuse de polyol, DI, etc. (la température du DI doit être contrôlée à plus de 10 ℃) | ||||||
Taille de la connexion | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
Taille du raccordement de l'eau de refroidissement | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
Débit d'eau de refroidissement @20℃ | 1,5m³/h | 2m³/h | 2,5m³/h | 4m³/h | 4,5m³/h | 5,6m³/h | 9m³/h |
Contrôle de la température du processus | La température cible à distance peut être contrôlée en combinant le modèle créé par l'utilisateur et le modèle libre de l'utilisateur. l'algorithme de l'arbre construit et l'algorithme de la cascade |
||||||
Dimension en cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
Modèle | FLTZ-202 | FLTZ-203 | FLTZ-204 | FLTZ-206 | FLTZ-208 | FLTZ-210 | FLTZ-215 |
FLTZ-202W | FLTZ-203W | FLTZ-204W | FLTZ-206W | FLTZ-208W | FLTZ-210W | FLTZ-215W | |
Plage de température | -25℃~90℃ | ||||||
Précision du contrôle de la température | ±0.05℃(Température de sortie à l'état stable) | ||||||
Contrôle du débit | 10~25L/min | 15~45L/min | 25~75L/min | ||||
Capacité de refroidissement @-15℃ | 2kW | 3kW | 3,8 kW | 6kW | 7,6 kW | 10kW | 15kW |
Volume de liquide de circulation interne | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
Volume du réservoir d'expansion | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
Réfrigérant | R404A | ||||||
Milieu réfrigérant | Huile de silicone, liquide fluoré, solution de glycol, etc. | ||||||
Taille de la connexion | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
Taille du raccordement de l'eau de refroidissement | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
Débit d'eau de refroidissement @20℃ | 1,2 m³/H | 1,6m³/H | 2,6m³/H | 3,6m³/H | 5,5m³/H | 7m³/H | 10,2 m³/H |
Contrôle de la température du processus | La température cible à distance peut être contrôlée en combinant le modèle créé par l'utilisateur et le modèle libre de l'utilisateur. l'algorithme de l'arbre construit et l'algorithme de la cascade |
||||||
Dimension en cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
Modèle | FLTZ-402 | FLTZ-403 | FLTZ-404 | FLTZ-406 | FLTZ-408 | FLTZ-410 | FLTZ-415 |
FLTZ-402W | FLTZ-403W | FLTZ-404W | FLTZ-406W | FLTZ-408W | FLTZ-410W | FLTZ-415W | |
Plage de température | -45℃~90℃ | ||||||
Précision du contrôle de la température | ±0.05℃(Température de sortie à l'état stable) | ||||||
Contrôle du débit | 10~25L/min 5bar max | 15~45L/min 5bar max | 25~75L/min 5bar max | ||||
Chauffage | L'utilisation du chauffage du compresseur permet d'éviter le givrage du condenseur. | ||||||
Capacité de refroidissement @-35℃ | 1kW | 1,4 kW | 1,8 kW | 2,5 kW | 3,3 kW | 5kW | 8kW |
Volume de liquide de circulation interne | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
Volume du réservoir d'expansion | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
Réfrigérant | R404A | ||||||
Milieu réfrigérant | Huile de silicone, liquide fluoré, solution de glycol, etc. | ||||||
Taille de la connexion | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
Taille du raccordement de l'eau de refroidissement | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
Débit d'eau de refroidissement @20℃ | 1,5m³/H | 2,4m³/H | 3,5m³/H | 5m³/H | 5,5m³/H | 6m³/H | 8m³/H |
Contrôle de la température du processus | La température cible à distance peut être contrôlée en combinant le modèle créé par l'utilisateur et le modèle libre de l'utilisateur. l'algorithme de l'arbre construit et l'algorithme de la cascade |
||||||
Dimension en cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*500*1500 | 1080*500*1500 |
Heat exchange Chiller Compressor-free
Modèle | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
Plage de température | Cooling water temperature +5℃~90℃ | ||||||
Précision du contrôle de la température | ±0.05℃(Température de sortie à l'état stable) | ||||||
Température de l'eau de refroidissement | 7℃~30℃ Cooling water flow is controlled by Siemens/Honeywell regulating valves | ||||||
Capacité de refroidissement | 5kW | 15kW | 30kW | 50kW | 100kW | 200kW | 300kW |
Test conditions: When the maximum circulation amount, the temperature difference between the temperature control temperature and the cooling water temperature is 15℃ |
|||||||
Pompe de circulation | 7~20L/min 5bar | 15~40L/min 5bar | 20~60L/min 5bar | 40~110L/min 5bar | 150~250L/min 5bar | 250~500L/min 5bar | 400~650L/min 5bar |
Volume du réservoir | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
Dimension en cm | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 | Personnalisation | Personnalisation | Personnalisation | Personnalisation |



les refroidisseurs qui contrôlent la température de traitement sur les équipements Fab

Refroidisseur à air à canal unique, principalement conçu pour les machines de gravure. Il est utilisé pour assurer un contrôle indépendant de la température des parois latérales de la chambre.
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