Réfrigérants à faible PRG dans les refroidisseurs pour semi-conducteurs
391Low GWP refrigerants in semiconductor chillers cut carbon impact, meet regulations, and keep fabs efficient with eco-friendly cooling solutions.
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Low GWP refrigerants in semiconductor chillers cut carbon impact, meet regulations, and keep fabs efficient with eco-friendly cooling solutions.
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Voir les détailsLe principe de fonctionnement des refroidisseurs utilisés dans les processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de dépôt physique en phase vapeur (PVD) des semi-conducteurs consiste principalement à éliminer la chaleur générée pendant le processus en faisant circuler de l'eau de refroidissement ou des...
Voir les détailsL'implantation ionique est une étape importante dans les processus de fabrication des semi-conducteurs. Elle permet de doper avec précision et de contrôler les propriétés électriques des matériaux semi-conducteurs en y implantant des ions à haute énergie. Ce processus génère beaucoup de chaleur...
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