Refroidisseur multicanaux à semi-conducteurs

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1 Refroidisseur multicanaux à semi-conducteurs

1.1 Contrôle de la température dans les processus d'essai de la production de semi-conducteurs

1.2 Assurer la stabilité et la fiabilité de l'ensemble du processus de fabrication des semi-conducteurs, de l'amont à l'aval

1.3 Détails de la configuration

1.4 Descriptions

1.5 les refroidisseurs qui contrôlent la température de traitement sur les équipements Fab

1.6 Applications

1.7 recommander des produits

FLTZ -45℃~100℃

Refroidisseur de chaleur à froid de haute précision

Précision de la température±0.1℃
RéfrigérantR404A
Contrôle du débit25~75/min 6bar max
Gamme de puissance380V 3kW~17kW

refroidisseur d'eau refroidisseur de semi-conducteurs

DEMANDE DE RENSEIGNEMENTS

Contrôle de la température dans les processus d'essai de la production de semi-conducteurs

La méthode de chauffage à 40 ℃ adopte un compresseur de chauffage au gaz chaud entièrement fermé, et la machine fonctionne en continu pendant 24 heures.

Assurer la stabilité et la fiabilité de l'ensemble du processus de fabrication des semi-conducteurs, de l'amont à l'aval

Principalement utilisé pour le contrôle précis de la température dans les processus de production et de test des semi-conducteurs, le chauffage à moins de 40°C en utilisant une méthode de chauffage à gaz chaud par compresseur.

Détails de la configuration

FLTZ -20℃~90℃ Double canal

Modèle	FLTZ-203W-2T
Pipeline	Canal 1	Canal 2
Plage de température	-20℃～+90℃	-20℃~～90℃
Précision du contrôle de la température	±0.1℃	±0.1℃
Capacité de refroidissement	4kW@-10℃	4kW@-10℃
Capacité de chauffage	2kW	2kW
Flux du fluide caloporteur	20L/min@0.5MPa	20L/min@0.5MPa
Interface du fluide caloporteur	ZG3/4	ZG3/4
Température ambiante	10～35℃	10～35℃
Humidité ambiante	30～70%	30～70%
Température de l'eau de refroidissement	15～20℃	15～20℃
Débit d'eau de refroidissement	20L/min	20L/min
Disjoncteur	30A
Contrôle de la température du processus	Contrôle de la température cible à distance basé sur l'algorithme d'arbre auto-créé sans modèle et l'algorithme de cascade
Poids	400 kg
Dimensions	5009001600

FLTZ -10℃~90℃ Double canal

Modèle	FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
Pipeline	Canal 1	Canal 2	Canal 3
Plage de température	-20℃～+50℃	+30℃～+100℃	+30℃～+40℃
Précision du contrôle de la température	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
Capacité de refroidissement	15kW@-10℃	13kW@PCW+15℃	8kW@PCW+10℃
Capacité de chauffage	2kW	6kW	Perte de chaleur de la pompe
Flux du fluide caloporteur	30L/min@0.85MPa	30L/min@0.85MPa	20L/min@0.8MPa
Interface du fluide caloporteur	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
Température ambiante	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
Humidité ambiante	30～70%	30～70%	30～70%
Température de l'eau de refroidissement	15～20℃	15～20℃	15～20℃
Débit d'eau de refroidissement	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
Disjoncteur	75A
Contrôle de la température du processus	Contrôle de la température cible à distance basé sur l'algorithme d'arbre auto-créé sans modèle et l'algorithme de cascade
Poids	600 kg
Dimensions	60010001700

Modèle	FLTZ-203W/2T Système double		FLTZ-305W/2T Système double		FLTZ-406W/2T Système double
Plage de température	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
Précision du contrôle de la température	±0.1℃
Contrôle du débit et de la pression	15~45l/min 6bar max
Chauffage	2,5 kW	2,5 kW	2,5 kW	2,5 kW	3,5 kW	3,5 kW
Capacité de refroidissement	3KW à 15℃	3KW à 15℃	5KW à 15℃	5KW à 15℃	2.5KW à -35℃	2.5KW à -35℃
Circulation interne Volume de liquide	5L	5L	8L	8L	8L	8L
Volume du réservoir d'expansion	15L		25L		25L
Fluide caloporteur	Fluoration, antigel, huile de silicone thermique, etc.
Réfrigérant	R404A/ R448
Interface du fluide caloporteur	ZG3/4
Interface avec l'eau de refroidissement	ZG3/4
Eau de refroidissement	50L/min à 20℃		600L/min à 20℃		50L/min à 20℃
Alimentation électrique	Triphasé220V / Triphasé 400V / Triphasé 460V
Contrôle de la température du processus	Contrôle de la température cible à distance basé sur l'algorithme d'arbre auto-créé sans modèle et l'algorithme de cascade

FLTZ -45℃~90℃ Double canal

Modèle	FLTZ-203W/2T double système		FLTZ-305W/2T double système		FLTZ-406W/2T double système
Plage de température	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
Précision du contrôle de la température	±0.1℃
Débit du fluide caloporteur	15~45l/min 6bar max
Capacité de chauffage	2,5 kW	2,5 kW	2,5 kW	2,5 kW	3,5 kW	3,5 kW
Capacité de refroidissement	3kW à 15℃	3kW à 15℃	5kW à 15℃	5kW à 15℃	2.5kW à -35℃	2.5kW à -35℃
Volume du liquide de circulation interne	5L	5L	8L	8L	8L	8L
Volume du réservoir d'expansion	15L		25L		25L
Média conducteur de chaleur	Liquide fluoré, antigel, huile de silicone conductrice de chaleur, etc.
Réfrigérant	R404A/ R448
Interface du fluide caloporteur	ZG3/4
Interface avec l'eau de refroidissement	ZG3/4
Interface avec l'eau de refroidissement	50L/min à 20℃		600L/min à 20℃		50L/min à 20℃
Puissance	Triphasé 220V/Triphasé 400V/Triphasé 460V
Contrôle de la température du processus	La température cible à distance peut être contrôlée en combinant le modèle créé par l'utilisateur et le modèle libre de l'utilisateur. et l'algorithme en cascade

Descriptions

La thermorégulation indépendante à canaux multiples peut avoir des plages de température distinctes, des capacités de refroidissement et de chauffage, un débit de fluide caloporteur, etc. Deux systèmes indépendants sont utilisés. Le système de réfrigération à compression de vapeur ou le système d'échange de chaleur sans compresseur ETCU peuvent être sélectionnés en fonction de la plage de température requise. Le système peut utiliser des vases d'expansion, des condenseurs, des systèmes d'eau de refroidissement, etc., ce qui permet de réduire efficacement la taille de l'équipement et les étapes de fonctionnement.

les refroidisseurs qui contrôlent la température de traitement sur les équipements Fab

Refroidisseur à air à canal unique, principalement conçu pour les machines de gravure. Il est utilisé pour assurer un contrôle indépendant de la température des parois latérales de la chambre.

Applications

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