Modèle	ZLJ-41.0	ZLJ-41.5	ZLJ-42	ZLJ-43	ZLJ-44	ZLJ-46	ZLJ-48
Modèle	ZLJ-41.0W	ZLJ-41.5W	ZLJ-42W	ZLJ-43W	ZLJ-44W	ZLJ-46W	ZLJ-48W
Plage de température	-40℃～-10℃
Précision du contrôle de la température	±0,5℃ température d'évaporation de contrôle
Méthode d'étranglement	Soupape d'expansion électronique
Contrôleur	Siemens PLC
Afficher l'enregistrement	Écran tactile de 7 pouces, enregistrement de la température, de la pression du système et d'autres informations
Principaux éléments	Filtre déshydrateur Danfoss, électrovanne Castor, capteur de pression Johnson Controls, ventilateur EBM (refroidi par air), séparateur d'huile Danfoss/Emerson,
Compresseur	Secop, Taikang, Emerson, Carlisle
Réfrigérant	R404A Facultatif R507C R448
Refroidissement à haute température	La technologie de refroidissement direct à haute température (150 degrés) permet d'atteindre l'objectif d'un refroidissement rapide pendant les opérations à haute température.
Compresseur	7/8HP	1,5HP	2HP	3HP	4HP	6HP	8HP
Alimentation V	220V 50HZ			380V 50HZ Peut être personnalisé 220V

Description du produit

Équipé d'une technologie de refroidissement direct à une température élevée de 150℃, répondant à l'objectif de capacité de refroidissement rapide pendant les opérations à haute température.

Le produit évacue et évapore directement le réfrigérant du système de réfrigération dans l'élément de contrôle cible (échangeur de chaleur) pour l'échange de chaleur, refroidissant ainsi l'objet de contrôle cible. Par rapport au fluide (gaz) transporté dans l'échangeur de chaleur, la capacité d'échange de chaleur est généralement plus de cinq fois supérieure, ce qui convient particulièrement aux applications où la surface d'échange de chaleur de l'échangeur de chaleur est petite mais où la capacité d'échange de chaleur est grande.

Le réfrigérateur à refroidissement direct peut également être utilisé pour capturer les gaz. Le réfrigérant passe directement dans le piège pour s'évaporer et le gaz présent dans l'espace est rapidement capturé grâce à l'effet de condensation sur la surface du piège.

apparence

1. interface frigorifique 2. Poignée portative

3. Écran tactile 4. Poignée portable

5. Fente pour carte à écran tactile 6. Sortie d'air

Protection de la sécurité

Utilisation de disjoncteurs différentiels Schneider et d'autres marques, de disjoncteurs à séquence de phases, de protecteurs de niveau de liquide, de protecteurs haute et basse tension et de protecteurs haute température.

Interface de communication de données

La configuration standard comprend une PT100, une interface USB et une interface de communication RS485. Diverses autres interfaces analogiques et signaux de contact peuvent être sélectionnés, ainsi qu'une interface Ethernet.

Processus de candidature

Largement applicable aux processus de gravure, de dépôt chimique en phase vapeur et de dépôt physique en phase vapeur dans les usines de fabrication de plaquettes de semi-conducteurs.

Gravure de la plaquette

Dépôt chimique en phase vapeur

Dépôt physique en phase vapeur

ETCH

MCV

PVD

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