La méthode de chauffage à 40 ℃ adopte un compresseur de chauffage au gaz chaud entièrement fermé, et la machine fonctionne en continu pendant 24 heures.

Assurer la stabilité et la fiabilité de l'ensemble du processus de fabrication des semi-conducteurs, de l'amont à l'aval

Description du produit

Le dispositif de contrôle de la température des semi-conducteurs Chiller est principalement utilisé pour le contrôle précis de la température dans les processus de production et d'essai des semi-conducteurs. Ses produits comprennent le contrôle de la température des liquides fluorés (minimum -100 degrés), le changement rapide de température du refroidissement et du chauffage des gaz, le mandrin à changement rapide de température, la machine de réfrigération des gaz à basse température (-120 degrés), l'unité de réfrigération à refroidissement direct (-150 degrés), etc. L'entreprise applique divers algorithmes (PID, PID en amont et algorithme d'arbre auto-construit sans modèle) dans le système afin d'obtenir une réponse rapide et une grande précision de contrôle.

Les informations importantes telles que la température (pression) d'échappement et d'aspiration, la température de condensation, la température (pression) de l'eau de refroidissement, la température (pression) du liquide (gaz) d'entrée et de sortie, la puissance électrique, le courant et la tension de chaque composant et le niveau du réservoir d'eau du refroidisseur sont toutes gérées, surveillées et enregistrées par des capteurs connectés au système de contrôle.

La méthode de chauffage à l'intérieur de 40 ℃ adopte le chauffage au gaz chaud par compresseur.

Le système de circulation du refroidisseur est entièrement fermé et la pompe de circulation est une pompe à entraînement magnétique.

Test à l'hélium du refroidisseur 100%, test des règles de sécurité 100% pour garantir la sécurité et la fiabilité du système.

Le refroidisseur fait fonctionner la machine à copier en continu pendant 24 heures à 100%.

les refroidisseurs qui contrôlent la température de traitement sur les équipements Fab

Refroidisseur à air à canal unique, principalement conçu pour les machines de gravure. Il est utilisé pour assurer un contrôle indépendant de la température des parois latérales de la chambre.

Détails de la configuration

Modèle	FLTZ-002 FLTZ-002W	FLTZ-003 FLTZ-003W	FLTZ-004 FLTZ-004W	FLTZ-006 FLTZ-006W	FLTZ-008 FLTZ-008W	FLTZ-010 FLTZ-010W	FLTZ-015 FLTZ-015W
Contrôle de la température	5℃～90℃
Précision de la température	±0.05℃
Contrôle du débit	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
Capacité de réfrigération@10℃	6kw	8kw	10kw	15 kw	20kw	25kw	40kw
Circulation interne Volume de liquide	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Capacité du réservoir d'expansion	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Réfrigérant	R410A
Réfrigérant secondaire	Huile de silicone, liquide fluoré, solution aqueuse d'éthylène glycol, DI, etc. (la température du DI doit être contrôlée à plus de 10 ℃).
Interfaces d'entrée et de sortie	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
Sortie d'eau de refroidissement	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Débit d'eau de refroidissement@20℃	1,5m³/h	2m³/h	2,5m³/h	4m³/h	4,5m³/h	5,6m³/h	9m³/h
alimentation électrique 380V	3,5 kW	4kW	5,5 kW	7kW	9,5 kW	12kW	16kW
Extension de la température	L'ajout d'un chauffage électrique permet d'étendre la plage de température de -25 ℃ à 80 ℃.

Modèle	FLTZ-202 FLTZ-202W	FLTZ-203 FLTZ-203W	FLTZ-204 FLTZ-204W	FLTZ-206 FLTZ-206W	FLTZ-208 FLTZ-208W	FLTZ-210 FLTZ-210W	FLTZ-215 FLTZ-215W
Plage de température	-25℃～90℃
Précision du contrôle de la température	±0.05℃
Contrôle du débit	10～25L/min ±0,3		15～45L/min ±0,3			25～75L/min ±0,3
Contrôle du débit	Le contrôle du débit est ajusté par un convertisseur de fréquence, et la pression maximale de la pompe de circulation est de 5 bars.
Réfrigération @-15℃	2kw	3kw	3,8 kW	6kw	7,6 kW	10kw	15kw
Circulation interne Volume de fluide	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volume du réservoir d'expansion	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
réfrigérant	R404A
Réfrigérant secondaire	Eau, huile de silicone, liquide fluoré, solution aqueuse d'éthylène glycol, etc.
Interface d'entrée et de sortie	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
Raccordement de l'eau de refroidissement	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Débit d'eau de refroidissement@20℃	1,2 m³/H	1,6m³/H	2,6m³/H	3,6m³/H	5,5m³/H	7m³/H	10,2 m³/H
Puissance 380V	3KW	4KW	6KW	8KW	9KW	13KW	17KW
Expansion de la température	En ajoutant un chauffage électrique, elle peut être étendue à -25℃~80℃.

Modèle	FLTZ-402FLTZ-402W	FLTZ-403FLTZ-403W	FLTZ-404FLTZ-404W	FLTZ-406FLTZ-406W	FLTZ-408FLTZ-408W	FLTZ-410FLTZ-410W	FLTZ-415FLTZ-415W
Contrôle de la température	-45℃～90℃
Précision du contrôle de la température	±0.05℃
Contrôle du débit	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
Chauffage	Le chauffage du compresseur est utilisé pour éviter le gel du condenseur.
Capacité de réfrigération @-35℃	1kw	1,4 kW	1,8 kW	2,5 kW	3,3 kW	5kw	8kw
Volume du liquide de circulation interne	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volume du réservoir d'expansion	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Réfrigérant	R404A
Réfrigérant secondaire	Eau, huile de silicone, liquide fluoré, solution aqueuse d'éthylène glycol, etc.
Interface d'entrée et de sortie	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG3/4
Raccordement de l'eau de refroidissement	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Débit d'eau de refroidissement @20℃	1,5m³/H	2,4m³/H	3,5m³/H	5m³/H	5,5m³/H	6m³/H	8m³/H
Puissance 380V	3KW	4KW	6KW	7.5KW	9KW	12KW	15KW
Expansion de la température	En ajoutant un chauffage électrique, elle peut être étendue à -25℃~80℃.

Fonction de communication

Standard equipment includes serial

Communication (RS232C, RS485) and contact input/output. Can communicate with customer devices or build systems.

signal de sortie du client

Soumettez-nous votre demande et nous vous contacterons dans les 24 heures.

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FLT-100℃~90℃
Refroidisseur à air à canal unique, principalement conçu pour les machines de gravure. Il est utilisé pour assurer un contrôle indépendant de la température des parois latérales de la chambre.

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