LNEYA Industrial Chillers Fabricant Fournisseur
Heat Exchange Chiller (Semiconductor temperature control )
ETCU 5℃~90℃
Temp Range: +5℃~90℃ ±0.3℃
Cooling Capacity: 5kw~30kw
Tank volume: 6L~15L
Power: 06KW~1.6KW
Contrôle de la température dans les processus de production et de test des semi-conducteurs
La méthode de chauffage à 40 ℃ adopte un compresseur de chauffage au gaz chaud entièrement fermé, et la machine fonctionne en continu pendant 24 heures.
Assurer la stabilité et la fiabilité de l'ensemble du processus de fabrication des semi-conducteurs, de l'amont à l'aval
Détails de la configuration
| Modèle | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| Plage de température | Cooling water temperature +5℃~90℃ | ||||||
| Précision du contrôle de la température | ±0.05℃ (outlet temperature steady state) | ||||||
| Température de l'eau de refroidissement | 7℃~30℃ Utiliser la vanne de régulation Siemens/Honeywell pour contrôler le débit de l'eau de refroidissement. | ||||||
| Capacité de refroidissement | 5kw | 15kw | 30kw | 50kw | 100kw | 200kw | 300kw |
| Circulating pump flow | Test conditions: At maximum circulation, the temperature difference between the control temperature and the cooling water temperature is 15°C | ||||||
| Storage tank volume | 7~20L/min 5bar | 15~40L/min 5bar | 20~60L/min 5bar | 40~110L/min 5bar | 150~250L/min 5bar | 250~500L/min 5bar | 400~650L/min 5bar |
| Dimensions | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
| Dimensions | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 | Personnalisation | Personnalisation | Personnalisation | Personnalisation |
Description du produit
Le dispositif de contrôle de la température des semi-conducteurs Chiller est principalement utilisé pour le contrôle précis de la température dans les processus de production et d'essai des semi-conducteurs. Ses produits comprennent le contrôle de la température des liquides fluorés (minimum -100 degrés), le changement rapide de température du refroidissement et du chauffage des gaz, le mandrin à changement rapide de température, la machine de réfrigération des gaz à basse température (-120 degrés), l'unité de réfrigération à refroidissement direct (-150 degrés), etc. L'entreprise applique divers algorithmes (PID, PID en amont et algorithme d'arbre auto-construit sans modèle) dans le système afin d'obtenir une réponse rapide et une grande précision de contrôle.
Les informations importantes telles que la température (pression) d'échappement et d'aspiration, la température de condensation, la température (pression) de l'eau de refroidissement, la température (pression) du liquide (gaz) d'entrée et de sortie, la puissance électrique, le courant et la tension de chaque composant et le niveau du réservoir d'eau du refroidisseur sont toutes gérées, surveillées et enregistrées par des capteurs connectés au système de contrôle.
La principale application est le contrôle précis de la température dans le processus de production et de test des semi-conducteurs.
La méthode de chauffage est inférieure à 40°C et utilise le gaz chaud du compresseur pour chauffer le concentré.
Le système de circulation est entièrement étanche et la pompe de circulation est une pompe à entraînement magnétique.
Essais sur l'ammoniac et essais de sécurité pour garantir la sécurité, la fiabilité et la prospérité du système ;
Après 24 heures de fonctionnement continu de la machine à copier
Scénarios d'application du contrôle de la température dans le processus de fabrication des semi-conducteurs
les refroidisseurs qui contrôlent la température de traitement sur les équipements Fab
Refroidisseur à air à canal unique, principalement conçu pour les machines de gravure. Il est utilisé pour assurer un contrôle indépendant de la température des parois latérales de la chambre.
Applications
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