LNEYA Industrial Chillers Fabricant Fournisseur
YQH 0℃~-75℃
Capture et récupération de la condensation des gaz résiduaires；Purification des gaz d'échappement des semi-conducteurs
- Pression en zone froide8 Bar
- Eau de refroidissement @25℃1300L/H~3000L/H 1BAR~4BAR
- Puissance3kW~8kW
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Capture et récupération des COVS par condensation des gaz
Convient à la récupération de divers gaz volatils COV ; Refroidissement rapide, haute efficacité, répondant à différentes exigences de température de condensation, la basse température peut atteindre -75 ° C
D'où viennent les gaz nocifs ?
Il provient principalement des processus de nettoyage, de nivellement de la colle, d'enlèvement de la colle, de gravure et de développement de la production de puces ou de circuits imprimés.
Volume d'échappement élevé et faible concentration d'émissions
Le processus de base de la fabrication de circuits intégrés produit une grande quantité de gaz acides-base, d'arsane, de phosphine, de gaz organiques et d'autres gaz résiduels. Un épurateur local est nécessaire pour capturer et récupérer la condensation des gaz résiduels.
Les gaz résiduels organiques proviennent principalement des processus de nettoyage, de dépôt chimique en phase vapeur, de photolithographie, de gravure humide, de démucilagination et de diffusion. Les types de gaz résiduaires organiques comprennent principalement l'alcool isopropylique, l'acétone, l'acétate d'éther monométhylique de propylène glycol, le lactate d'éthyle, l'acétate de butyle, les aromatiques lourds, etc.
paramètre
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Modèle |
YQH-3520EXd YQH-3520Wexd |
YQH-7520EXd YQH-7520WEXd |
YQH-3530EXd YQH-3530WEXd |
YQH-7530EXd YQH-7530WEXd |
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Débit de gaz |
20m3/h |
20m3/h |
30m3/h |
30m3/h |
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Température la plus basse |
-35℃ |
-75℃ |
-35℃ |
-75℃ |
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Température du premier niveau |
0℃ |
0℃ |
0℃ |
0℃ |
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Pression dans la boîte froide |
8bar |
8bar |
8bar |
8bar |
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Zone d'échange thermique |
3m2*2 |
3m2*2 |
5m2*2 |
5m2*2 |
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Matériau de l'échangeur de chaleur |
SUS304 |
SUS304 |
SUS304 |
SUS304 |
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Contrôle de la pression |
Contrôle et protection de la pression d'entrée et de sortie des pièges à évaporation primaire et secondaire contre le blocage par la glace |
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Commande de dégivrage |
Le contrôle du dégivrage peut être effectué sur la base de la surveillance de la pression. |
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Diamètre d'entrée d'air |
DN40 PN16 |
DN40 PN16 |
DN50 PN16 |
DN50 PN16 |
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Réservoir de stockage de liquide de récupération |
10L Installation optionnelle d'une pompe de transfert de récupération |
15L Installation optionnelle d'une pompe de transfert de récupération |
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Diamètre de l'orifice de vidange |
G1/2 |
G1/2 |
G1/2 |
G1/2 |
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Système de contrôle |
Siemens PLC |
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Affichage et enregistrement |
Écran tactile couleur de 7 pouces |
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Compresseur |
Compresseur flexible Emerson Copeland Scroll (antidéflagrant, encapsulé dans de la résine époxy) |
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Alimentation 380V 50HZ MAX |
3.5KW |
5KW |
4KW |
6KW |
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Taille |
800*1200*1850 |
800*1200*1850 |
1000*1500*1850 |
1000*1500*1850 |
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Eau de refroidissement (refroidissement par eau)20℃ |
1800L/H 1BAR~4BAR G3/4 |
3000L/H 1BAR~4BAR G3/4 |
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principe de fonctionnement
Introduire le gaz volatil VOCS dans la boîte froide de l'équipement (l'appareil est réglé sur une température de condensation de 3°C-40°C-75°C-115°C). D'autres zones de température peuvent être personnalisées pour répondre aux besoins de condensation et de liquéfaction par étapes. Certains processus de production continue disposent d'un processus de commutation à double canal dans la section basse température (après qu'un côté est bloqué par la glace, il est directement commuté sur l'autre canal pour l'échange de chaleur et la condensation dans la boîte froide, et en même temps, le blocage de la glace est testé pour le traitement de dégivrage).
Sur mesure 25 BAR
Résistance à la pression du système d'échange de chaleur
-40~-75℃
Respecter les différentes températures
Envoyez-nous un message concernant l'unité de récupération de la condensation des gaz résiduaires VOCS
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