Il est largement utilisé dans le processus de fabrication des semi-conducteurs pour contrôler la température de la chambre de réaction, la température du dissipateur thermique et le contrôle de la température du fluide ininflammable de l'agent de transfert de chaleur.

1. L'essai de maintien de la pression du système de circulation du fluide est de 7 bars.
2. Utiliser une pompe magnétique de haute qualité sans garniture mécanique d'arbre.
Optimisation de l'échantillonnage de la température et de la vitesse de réponse, algorithme de contrôle spécialement conçu pour répondre rapidement à un contrôle stable de la température.
4. Améliorer la conception de la capacité de la pompe de circulation afin de répondre aux exigences du système en matière de hauteur d'élévation.
5. La technologie de refroidissement continu à haute température répond aux exigences d'un fonctionnement stable lorsque la chaleur est chargée sur la plaque du dissipateur thermique et nécessite un contrôle constant de la température de refroidissement et de chauffage.
6. Compte tenu des caractéristiques volatiles du liquide fluoré, la conception des joints et l'étanchéité du système sont renforcées pour garantir la durée de vie du fluide.