LNEYA Industrial Chillers Fabricant Fournisseur
LTS -60℃～80℃ Système de refroidissement et de chauffage au fluorure
Contrôle de la température lors de la fabrication de semi-conducteurs
- Contrôle du débit12L/min~45L/min
- Précision de la température±0.1℃ @-60℃~-30℃
- Liquide de circulation interne4L~10L
- Vase d'expansion10L~20L
- Lieu d'origineChine
Téléchargement des données produit
Paramètres du produit
| Modèle | LTS-802 | LTS-803 | LTS-804 | LTS-806 | LTS-808 |
| LTS-802W | LTS-803W | LTS-804W | LTS-806W | LTS-808W | |
| Plage de température | -80℃～-20℃ | ||||
| Précision du contrôle de la température | ±0.1℃ -80℃～-50℃ | ||||
| Contrôle du débit | 7～25L/min | 12～45L/min | |||
| Le contrôle du débit adopte un réglage par convertisseur de fréquence, et la vitesse est automatiquement ajustée en fonction du signal de retour du capteur de débit. La pression maximale de la pompe de circulation est de 5 bars. | |||||
| Volume de liquide de circulation interne | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| Volume du réservoir d'expansion | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| Affichage de la pression du système | La pression du système de réfrigération est réalisée par un manomètre à aiguille (haute pression, basse pression). | ||||
| La position de sortie du système circulatoire est détectée par un capteur de pression et affichée sur l'écran tactile. | |||||
| Contrôleur | Siemens PLC, algorithme de contrôle PID flou avec algorithme de contrôle en cascade. | ||||
| Contrôle de la température | Mode de contrôle de la température de sortie du fluide caloporteur | ||||
| Capteur de température externe : (PT100 ou 4～20mA ou réglage de la communication) Mode de contrôle (contrôle en cascade) | |||||
| Lettre d'accord | Interface Ethernet Protocole TCP/IP | ||||
| Interface RS485 protocole modbus RTU | |||||
| Retour d'information sur la température interne de l'équipement | Température de sortie du fluide de transfert de chaleur de l'équipement, température d'entrée du fluide, température de condensation du système de réfrigération, température ambiante, température d'aspiration du compresseur, température de l'eau de refroidissement (disponible pour les équipements refroidis à l'eau). | ||||
| Système de circulation fermé | L'ensemble du système est entièrement fermé, la basse température n'absorbe pas l'humidité de l'air, ne volatilise pas le fluide caloporteur, et la basse température complète automatiquement le fluide caloporteur dans le système de circulation. | ||||
| Compresseur | Compresseur flexible à spirale Emerson Copeland/Danfoss | ||||
| Pompe de circulation | Pompe de circulation magnétique de marque allemande | ||||
| Évaporateur | Échangeur de chaleur à plaques Danfoss/Gaoli | ||||
| Condenseur | Condenseur à microcanaux (refroidi par air) | ||||
| Échangeur de chaleur à plaques (refroidi à l'eau), attention particulière : de l'eau d'usine propre est requise. | |||||
| Accessoires de réfrigération | Accessoires Danfoss/Emerson (filtre déshydrateur, séparateur d'huile, protecteur de haute et basse pression, soupape d'expansion) | ||||
| Panneau de commande | Écran tactile couleur de 7 pouces personnalisé par Wuxi Guanya, affichage de la courbe de température, exportation de données Excel | ||||
| Sécurité | Avec fonction d'autodiagnostic, protection contre l'ouverture des phases, protection contre les surcharges des machines frigorifiques, pressostat haute pression, relais de surcharge, dispositif de protection thermique et autres fonctions de sécurité. | ||||
| Taille des interfaces d'entrée et de sortie | G1/2 | G1/2 | G3/4 | G3/4 | G3/4 |
Description du produit
Il est largement utilisé dans le processus de fabrication des semi-conducteurs pour contrôler la température de la chambre de réaction, la température du dissipateur thermique et le contrôle de la température du fluide ininflammable de l'agent de transfert de chaleur.
1. L'essai de maintien de la pression du système de circulation du fluide est de 7 bars.
2. Utiliser une pompe magnétique de haute qualité sans garniture mécanique d'arbre.
Optimisation de l'échantillonnage de la température et de la vitesse de réponse, algorithme de contrôle spécialement conçu pour répondre rapidement à un contrôle stable de la température.
4. Améliorer la conception de la capacité de la pompe de circulation afin de répondre aux exigences du système en matière de hauteur d'élévation.
5. La technologie de refroidissement continu à haute température répond aux exigences d'un fonctionnement stable lorsque la chaleur est chargée sur la plaque du dissipateur thermique et nécessite un contrôle constant de la température de refroidissement et de chauffage.
6. Compte tenu des caractéristiques volatiles du liquide fluoré, la conception des joints et l'étanchéité du système sont renforcées pour garantir la durée de vie du fluide.
Cliquez sur le message en ligne pour obtenir des détails sur le produit
Envoyez-nous un message et nous vous contacterons dans les plus brefs délais.
Ces produits peuvent également vous intéresser
Mandrin de la série MD
-75℃ à 225°C Modèle MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Plage -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Précision du contrôle de la température ±0,1℃ ±0,1℃ ±0,1℃ uniformité de la température ±1℃ ±1℃ ±1℃ Planéité ±50um ±50um ±50um Taille de la tablette 200mm de diamètre d....
- YQH 0℃~-75℃
Convient à la récupération de divers gaz volatils COV ; Refroidissement rapide, haute efficacité, répondant à différentes exigences de température de condensation, la basse température peut atteindre -75 ° C Il provient principalement du nettoyage, de la colle ...
- FLT-100℃~90℃
Refroidisseur à air à canal unique, principalement conçu pour les machines de gravure. Il est utilisé pour assurer un contrôle indépendant de la température des parois latérales de la chambre.
- FLTZ -45℃~90℃
La méthode de chauffage à 40 ℃ adopte un compresseur de chauffage à gaz chaud entièrement fermé, et la machine fonctionne en continu pendant 24 heures Le dispositif de contrôle de la température à semi-conducteur Le refroidisseur est principalement utilisé pour p...
chargement...
已经是到最后一篇内容了！
