Afin d'améliorer le taux de rendement des produits et de garantir la rentabilité, le contrôle de la qualité doit être effectué à chaque étape de l'industrie des semi-conducteurs. La température est un facteur important qui influe sur la qualité des produits, et la stabilité et la précision de la température sont très importantes pour garantir des produits stables et fiables. Assurer la stabilité et la fiabilité de l'ensemble du processus de fabrication des semi-conducteurs, du début à la fin.
Refroidisseur à air à canal unique, principalement conçu pour les machines de gravure. Il est utilisé pour assurer un contrôle indépendant de la température des parois latérales de la chambre.
Peut être utilisé dans les processus : oxydation, revêtement de colle, photolithographie, développement, gravure, implantation ionique, enlèvement de colle, dépôt de film, CMP, nettoyage.
LNEYA Refroidisseur à air ou refroidisseur à eau
