Comment fonctionnent les refroidisseurs CVD et PVD pour semi-conducteurs ?
1064Le principe de fonctionnement des refroidisseurs utilisés dans les processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de dépôt physique en phase vapeur (PVD) des semi-conducteurs consiste principalement à éliminer la chaleur générée pendant le processus en faisant circuler de l'eau de refroidissement ou des...
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