YQH 0℃~-75℃

Capture et récupération de la condensation des gaz résiduaires；Purification des gaz d'échappement des semi-conducteurs

Refroidisseurs pour essais de semi-conducteurs

Pression en zone froide8 Bar
Eau de refroidissement @25℃1300L/H~3000L/H 1BAR~4BAR
Puissance3kW~8kW

récupération du gaz Laveur local COV

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Capture et récupération des COVS par condensation des gaz

Convient à la récupération de divers gaz volatils COV ; Refroidissement rapide, haute efficacité, répondant à différentes exigences de température de condensation, la basse température peut atteindre -75 ° C

D'où viennent les gaz nocifs ?

Il provient principalement des processus de nettoyage, de nivellement de la colle, d'enlèvement de la colle, de gravure et de développement de la production de puces ou de circuits imprimés.

Volume d'échappement élevé et faible concentration d'émissions

Le processus de base de la fabrication de circuits intégrés produit une grande quantité de gaz acides-base, d'arsane, de phosphine, de gaz organiques et d'autres gaz résiduels. Un épurateur local est nécessaire pour capturer et récupérer la condensation des gaz résiduels.

Les gaz résiduels organiques proviennent principalement des processus de nettoyage, de dépôt chimique en phase vapeur, de photolithographie, de gravure humide, de démucilagination et de diffusion. Les types de gaz résiduaires organiques comprennent principalement l'alcool isopropylique, l'acétone, l'acétate d'éther monométhylique de propylène glycol, le lactate d'éthyle, l'acétate de butyle, les aromatiques lourds, etc.

paramètre

Modèle	YQH-3520EXd YQH-3520Wexd	YQH-7520EXd YQH-7520WEXd	YQH-3530EXd YQH-3530WEXd	YQH-7530EXd YQH-7530WEXd
Débit de gaz	20m3/h	20m3/h	30m3/h	30m3/h
Température la plus basse	-35℃	-75℃	-35℃	-75℃
Température du premier niveau	0℃	0℃	0℃	0℃
Pression dans la boîte froide	8bar	8bar	8bar	8bar
Zone d'échange thermique	3m2*2	3m2*2	5m2*2	5m2*2
Matériau de l'échangeur de chaleur	SUS304	SUS304	SUS304	SUS304
Contrôle de la pression	Contrôle et protection de la pression d'entrée et de sortie des pièges à évaporation primaire et secondaire contre le blocage par la glace
Commande de dégivrage	Le contrôle du dégivrage peut être effectué sur la base de la surveillance de la pression.
Diamètre d'entrée d'air	DN40 PN16	DN40 PN16	DN50 PN16	DN50 PN16
Réservoir de stockage de liquide de récupération	10L Installation optionnelle d'une pompe de transfert de récupération		15L Installation optionnelle d'une pompe de transfert de récupération
Diamètre de l'orifice de vidange	G1/2	G1/2	G1/2	G1/2
Système de contrôle	Siemens PLC
Affichage et enregistrement	Écran tactile couleur de 7 pouces
Compresseur	Compresseur flexible Emerson Copeland Scroll (antidéflagrant, encapsulé dans de la résine époxy)
Alimentation 380V 50HZ MAX	3.5KW	5KW	4KW	6KW
Taille	80012001850	80012001850	100015001850	100015001850
Eau de refroidissement (refroidissement par eau)20℃	1800L/H 1BAR~4BAR G3/4		3000L/H 1BAR~4BAR G3/4

principe de fonctionnement

Introduire le gaz volatil VOCS dans la boîte froide de l'équipement (l'appareil est réglé sur une température de condensation de 3°C-40°C-75°C-115°C). D'autres zones de température peuvent être personnalisées pour répondre aux besoins de condensation et de liquéfaction par étapes. Certains processus de production continue disposent d'un processus de commutation à double canal dans la section basse température (après qu'un côté est bloqué par la glace, il est directement commuté sur l'autre canal pour l'échange de chaleur et la condensation dans la boîte froide, et en même temps, le blocage de la glace est testé pour le traitement de dégivrage).

Sur mesure 25 BAR

Résistance à la pression du système d'échange de chaleur

-40~-75℃

Respecter les différentes températures

Envoyez-nous un message sur le produit Vocs

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MD -75℃～225℃
INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …
FLT-100℃~80℃ cascade basse température
Précision de la température ±0.1℃ Contrôle du débit 12~45/min
FLTZ -30℃~40℃ Série de conversion à double fréquence
Précision de la température ±0.1℃ Contrôle du débit 15~45/min 6bar max Puissance 380V 3.5kW
FLT -45℃~40℃
Précision de la température ±0.1℃ Contrôle du débit 25~75/min 6bar max Réfrigérant R404A Gamme de puissance 380V 3.5kW~16kW