FLT 5℃~-40℃

Principalement utilisé pour le contrôle précis de la température dans les processus de production et de test des semi-conducteurs, le chauffage à moins de 40°C en utilisant une méthode de chauffage à gaz chaud par compresseur.

Refroidisseur

Précision de la température±0.1℃
Contrôle du débit25~75/min 6bar max
RéfrigérantR404A
Gamme de puissance380V 3,5kW~16kW

refroidisseur d'eau refroidisseur de semi-conducteurs

DEMANDE DE RENSEIGNEMENTS

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Contrôle de la température dans les processus de production et de test des semi-conducteurs

La méthode de chauffage à 40 ℃ adopte un compresseur de chauffage au gaz chaud entièrement fermé, et la machine fonctionne en continu pendant 24 heures.

Assurer la stabilité et la fiabilité de l'ensemble du processus de fabrication des semi-conducteurs, de l'amont à l'aval

Détails de la configuration

Modèle	FLT-002 FLT-002W	FLT-003 FLT-003W	FLT-004 FLT-004W	FLT-006 FLT-006W	FLT-008 FLT-008W	FLT-010 FLT-010W	FLT-015 FLT-015W
Contrôle de la température	5℃～40℃
Précision de la température	±0.1℃
Contrôle du débit	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
Capacité de réfrigération@10℃	6kw	8kw	10kw	15 kw	20kw	25kw	40kw
Circulation interne Volume de liquide	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Capacité du réservoir d'expansion	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Réfrigérant	R410A
Réfrigérant secondaire	Huile de silicone, liquide fluoré, solution aqueuse d'éthylène glycol, DI, etc. (la température du DI doit être contrôlée à plus de 10 ℃).
Interfaces d'entrée et de sortie	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G1
Sortie d'eau de refroidissement	G1/2	G1/2	G3/4	G1	G1	G1	G1 1/8
Débit d'eau de refroidissement@20℃	1,5m³/h	2m³/h	2,5m³/h	4m³/h	4,5m³/h	5,6m³/h	9m³/h
alimentation électrique 380V	3,5 kW	4kW	5,5 kW	7kW	9,5 kW	12kW	16kW
Extension de la température	L'ajout d'un chauffage électrique permet d'étendre la plage de température de -25 ℃ à 80 ℃.

Description du produit

Le dispositif de contrôle de la température des semi-conducteurs Chiller est principalement utilisé pour le contrôle précis de la température dans les processus de production et d'essai des semi-conducteurs. Ses produits comprennent le contrôle de la température des liquides fluorés (minimum -100 degrés), le changement rapide de température du refroidissement et du chauffage des gaz, le mandrin à changement rapide de température, la machine de réfrigération des gaz à basse température (-120 degrés), l'unité de réfrigération à refroidissement direct (-150 degrés), etc. L'entreprise applique divers algorithmes (PID, PID en amont et algorithme d'arbre auto-construit sans modèle) dans le système afin d'obtenir une réponse rapide et une grande précision de contrôle.

Les informations importantes telles que la température (pression) d'échappement et d'aspiration, la température de condensation, la température (pression) de l'eau de refroidissement, la température (pression) du liquide (gaz) d'entrée et de sortie, la puissance électrique, le courant et la tension de chaque composant et le niveau du réservoir d'eau du refroidisseur sont toutes gérées, surveillées et enregistrées par des capteurs connectés au système de contrôle.

La méthode de chauffage à l'intérieur de 40 ℃ adopte le chauffage au gaz chaud par compresseur.

Le système de circulation du refroidisseur est entièrement fermé et la pompe de circulation est une pompe à entraînement magnétique.

Test à l'hélium du refroidisseur 100%, test des règles de sécurité 100% pour garantir la sécurité et la fiabilité du système.

Le refroidisseur fait fonctionner la machine à copier en continu pendant 24 heures à 100%.

les refroidisseurs qui contrôlent la température de traitement sur les équipements Fab

Refroidisseur à air à canal unique, principalement conçu pour les machines de gravure. Il est utilisé pour assurer un contrôle indépendant de la température des parois latérales de la chambre.

Applications

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YQH 0℃~-75℃
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Précision de la température ±0.1℃ Contrôle du débit 12~45/min
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Précision de la température ±0.1℃ Contrôle du débit 15~45/min 6bar max Puissance 380V 3.5kW