FLT -25℃~-40℃

Principalement utilisé pour le contrôle précis de la température dans les processus de production et de test des semi-conducteurs, le chauffage à moins de 40°C en utilisant une méthode de chauffage à gaz chaud par compresseur.

Refroidisseurs pour essais de semi-conducteurs

Précision de la température±0.1℃
Contrôle du débit25~75/min 6bar max
RéfrigérantR404A
Gamme de puissance380V 3kW~17kW

refroidisseur d'eau refroidisseur de semi-conducteurs

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Contrôle de la température dans les processus de production et de test des semi-conducteurs

La méthode de chauffage à 40 ℃ adopte un compresseur de chauffage au gaz chaud entièrement fermé, et la machine fonctionne en continu pendant 24 heures.

Assurer la stabilité et la fiabilité de l'ensemble du processus de fabrication des semi-conducteurs, de l'amont à l'aval

Détails de la configuration

Modèle	FLT-202 FLT-202W	FLT-203 FLT-203W	FLT-204 FLT-204W	FLT-206 FLT-206W	FLT-208 FLT-208W	FLT-210 FLT-210W	FLT-215 FLT-215W
Plage de température	-25℃～40℃
Précision du contrôle de la température	±0.1℃
Contrôle du débit	10～25L/min ±0,3		15～45L/min ±0,3			25～75L/min ±0,3
Contrôle du débit	Le contrôle du débit est ajusté par un convertisseur de fréquence, et la pression maximale de la pompe de circulation est de 5 bars.
Réfrigération @-15℃	2kw	3kw	3,8 kW	6kw	7,6 kW	10kw	15kw
Circulation interne Volume de fluide	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volume du réservoir d'expansion	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
réfrigérant	R404A
Réfrigérant secondaire	Eau, huile de silicone, liquide fluoré, solution aqueuse d'éthylène glycol, etc.
Interface d'entrée et de sortie	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G1
Raccordement de l'eau de refroidissement	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G1	G1	G1 1/8
Débit d'eau de refroidissement@20℃	1,2 m³/H	1,6m³/H	2,6m³/H	3,6m³/H	5,5m³/H	7m³/H	10,2 m³/H
Puissance 380V	3KW	4KW	6KW	8KW	9KW	13KW	17KW
Expansion de la température	En ajoutant un chauffage électrique, elle peut être étendue à -25℃~80℃.

Description du produit

Le dispositif de contrôle de la température des semi-conducteurs Chiller est principalement utilisé pour le contrôle précis de la température dans les processus de production et d'essai des semi-conducteurs. Ses produits comprennent le contrôle de la température des liquides fluorés (minimum -100 degrés), le changement rapide de température du refroidissement et du chauffage des gaz, le mandrin à changement rapide de température, la machine de réfrigération des gaz à basse température (-120 degrés), l'unité de réfrigération à refroidissement direct (-150 degrés), etc. L'entreprise applique divers algorithmes (PID, PID en amont et algorithme d'arbre auto-construit sans modèle) dans le système afin d'obtenir une réponse rapide et une grande précision de contrôle.

Les informations importantes telles que la température (pression) d'échappement et d'aspiration, la température de condensation, la température (pression) de l'eau de refroidissement, la température (pression) du liquide (gaz) d'entrée et de sortie, la puissance électrique, le courant et la tension de chaque composant et le niveau du réservoir d'eau du refroidisseur sont toutes gérées, surveillées et enregistrées par des capteurs connectés au système de contrôle.

les refroidisseurs qui contrôlent la température de traitement sur les équipements Fab

Refroidisseur à air à canal unique, principalement conçu pour les machines de gravure. Il est utilisé pour assurer un contrôle indépendant de la température des parois latérales de la chambre.

Applications

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MD -75℃～225℃
INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …
YQH 0℃~-75℃
Précision de la température ±0.1℃ Contrôle du débit 12~45/min
FLT-100℃~80℃ cascade basse température
Précision de la température ±0.1℃ Contrôle du débit 12~45/min
FLTZ -30℃~40℃ Série de conversion à double fréquence
Précision de la température ±0.1℃ Contrôle du débit 15~45/min 6bar max Puissance 380V 3.5kW