Système de contrôle de la température des liquides fluorés

Le système de contrôle de la température de refroidissement et de chauffage par liquide fluoré est largement utilisé dans le processus de fabrication des semi-conducteurs pour contrôler la température de la chambre de réaction, le contrôle de la température de la plaque du dissipateur thermique et le contrôle de la température du fluide ininflammable lorsque le transfert de chaleur est nécessaire. Il convient au processus de fabrication des puces à semi-conducteurs, aux dispositifs de puissance et à la régulation de la température de refroidissement et de chauffage de l'équipement avionique.

Les fluides fluorés sont des produits à faible toxicité, ininflammables et de haute performance qui n'affectent pas le développement durable de l'environnement et peuvent réduire les émissions de gaz à effet de serre. Parallèlement, compte tenu des caractéristiques volatiles des liquides fluorés, la conception des joints et l'étanchéité du système sont renforcées afin de garantir la durée de vie du fluide.