LNEYA Refroidisseur à air ou refroidisseur à eau
ZLJ -40℃~-15℃
Refroidisseur à air pour la production de semi-conducteurs- Compresseur1.5hp~7hp
- RéfrigérantR404A R507C R448
- Gamme de puissance380V 50HZ peut être choisi 220V
- Précision de la température±0.5℃
Téléchargement des données produit
Contrôle de la température dans les processus de production et de test des semi-conducteurs
CHILLER type de refroidissement direct
Il est possible de répondre à des besoins de contrôle multiples en fusionnant plusieurs appareils dans une armoire plus grande.
Utilisé pour les petites surfaces d'échange de chaleur et les grandes capacités d'échange de chaleur
Détails de la configuration
| Modèle | ZLJ-41.0 | ZLJ-41.5 | ZLJ-42 | ZLJ-43 | ZLJ-44 | ZLJ-46 | ZLJ-48 |
| ZLJ-41.0W | ZLJ-41.5W | ZLJ-42W | ZLJ-43W | ZLJ-44W | ZLJ-46W | ZLJ-48W | |
| Plage de température | -40℃～-10℃ | ||||||
| Précision du contrôle de la température | ±0,5℃ température d'évaporation de contrôle | ||||||
| Méthode d'étranglement | Soupape d'expansion électronique | ||||||
| Contrôleur | Siemens PLC | ||||||
| Afficher l'enregistrement | Écran tactile de 7 pouces, enregistrement de la température, de la pression du système et d'autres informations | ||||||
| Principaux éléments | Filtre déshydrateur Danfoss, électrovanne Castor, capteur de pression Johnson Controls, ventilateur EBM (refroidi par air), séparateur d'huile Danfoss/Emerson, | ||||||
| Compresseur | Secop, Taikang, Emerson, Carlisle | ||||||
| Réfrigérant | R404A Facultatif R507C R448 | ||||||
| Refroidissement à haute température | La technologie de refroidissement direct à haute température (150 degrés) permet d'atteindre l'objectif d'un refroidissement rapide pendant les opérations à haute température. | ||||||
| Compresseur | 7/8HP | 1,5HP | 2HP | 3HP | 4HP | 6HP | 8HP |
| Alimentation V | 220V 50HZ | 380V 50HZ Peut être personnalisé 220V | |||||
Description du produit
Équipé d'une technologie de refroidissement direct à une température élevée de 150℃, répondant à l'objectif de capacité de refroidissement rapide pendant les opérations à haute température.
Le produit évacue et évapore directement le réfrigérant du système de réfrigération dans l'élément de contrôle cible (échangeur de chaleur) pour l'échange de chaleur, refroidissant ainsi l'objet de contrôle cible. Par rapport au fluide (gaz) transporté dans l'échangeur de chaleur, la capacité d'échange de chaleur est généralement plus de cinq fois supérieure, ce qui convient particulièrement aux applications où la surface d'échange de chaleur de l'échangeur de chaleur est petite mais où la capacité d'échange de chaleur est grande.
Le réfrigérateur à refroidissement direct peut également être utilisé pour capturer les gaz. Le réfrigérant passe directement dans le piège pour s'évaporer et le gaz présent dans l'espace est rapidement capturé grâce à l'effet de condensation sur la surface du piège.
apparence
1. interface frigorifique 2. Poignée portative
3. Écran tactile 4. Poignée portable
5. Fente pour carte à écran tactile 6. Sortie d'air
Protection de la sécurité
Utilisation de disjoncteurs différentiels Schneider et d'autres marques, de disjoncteurs à séquence de phases, de protecteurs de niveau de liquide, de protecteurs haute et basse tension et de protecteurs haute température.
Interface de communication de données
La configuration standard comprend une PT100, une interface USB et une interface de communication RS485. Diverses autres interfaces analogiques et signaux de contact peuvent être sélectionnés, ainsi qu'une interface Ethernet.
Processus de candidature
Largement applicable aux processus de gravure, de dépôt chimique en phase vapeur et de dépôt physique en phase vapeur dans les usines de fabrication de plaquettes de semi-conducteurs.
Gravure de la plaquette
Dépôt chimique en phase vapeur
Dépôt physique en phase vapeur
ETCH
MCV
PVD
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